三维光学形貌仪通过白光干涉光学测量技术，用于各种材料/涂层/器件的高精度表面三维特征测量，能够测量从粗糙的到光滑的，坚硬的到柔软的，黏性的表面以及各种场合下难于测量的表面，适用于金属材料、非金属材料、复合材料、薄膜、涂层、器件等各种材料的表面微观结构特征的3D成像，提供各种粗糙度，表面结构的台阶高度，角度、体积、长度、深度等多种数据的测试分析、相似特征的统计分析，轮廓提取等功能。

三维白光干涉仪依靠光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜分成两束,一束经被测表面反射,另一束经参考镜反射,两束反射光最终汇聚并发生干涉,通过测量干涉条纹的变化来生成表面三维形貌。成像帧速高达165FPS，光学形貌技术中最高的Z向分辨率可达亚纳米级，Z向分辨率不受物镜倍率影响。

动态彩色显示：采集区域、采集行程实时动态显示在屏幕上。图像全自动采集，大大降低试验操作员的业务水平要求和操作难度；支持单图像采集或多图像拼接采集，XYZ行程范围为150mm×200mm×100mm。三维白光干涉形貌仪具有功能强大的分析软件，含多种标准分析方法，满足IS025178、IS04287、ASMEB46.1、EUR15178、IS016610-61、IS0 16610-62、IS0 16610-71等。支持三维表面形貌的实时成像和在线/离线分析；三维形貌和颜色及强度图像叠加；数据分析过滤功能，剔除噪点等异常数据；粗糙度等表面纹理参数分析-符合最新的IS0和国家标准；提取区域和剖面轮廓；表面纹理分析、轮分析、颗粒分析、3D傅立叶分析、凸起/凹坑/空隙分析、数据统计分布；快速、自动化创建可追踪的表面分析报告；可为测试参数设定阀值，自动判定是否合格；可通过模板或自定义程序来批量自动分析数据。导出数据格式:Rtec、BCRF、STEP三维文件、RTF、高质量位图、TXT、Exce1、PDF等，可和其它系统兼容。与非接触式检测方法相比，Rtec三维光学形貌仪具有多种优势，包括快速测量、定制分析功能、全自动化测量等。

本系列机型符合《GB/T 40139-2021材料表面积的测量 高光谱成像三维面积测量法》的标准的要求。